Hochschulschrift
Ionengstützte Abscheidung und optische Charakterisierung von polykristallinen Dünnschichten am Beispiel von Bornitrid
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
107 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Leipzig, Univ., Diss., 1998
- Keyword
-
Bornitrid
Sputtern
Dünne Schicht
Polykristall
Gefüge
Optische Eigenschaft
Bornitrid
Dünne Schicht
Ellipsometrie
Fourier-Spektroskopie
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:32 PM CET
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