Hochschulschrift
Ionengstützte Abscheidung und optische Charakterisierung von polykristallinen Dünnschichten am Beispiel von Bornitrid
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
107 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Leipzig, Univ., Diss., 1998
- Schlagwort
-
Bornitrid
Sputtern
Dünne Schicht
Polykristall
Gefüge
Optische Eigenschaft
Bornitrid
Dünne Schicht
Ellipsometrie
Fourier-Spektroskopie
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:32 MEZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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