Hochschulschrift
Modellierung des PLD-Prozesses zur Abscheidung elektrokeramischer Dünnschichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826520648
3826520645
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VIII, 192 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1996
- Schlagwort
-
Bariumtitanat
Dünne Schicht
PVD-Verfahren
Excimerlaser
PZT
Dünne Schicht
PVD-Verfahren
Excimerlaser
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:25 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Mertin, Michael
- Shaker
Entstanden
- 1996
Ähnliche Objekte (12)
Modellierung von Membrankontaktoren zur CO2-Abscheidung
Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten
Geometrische und elektronische Struktur organischer Adsorbate und Dünnschichten
Funktionale Dünnschichten und deren Anwendung in Hochtemperatur-Drucksensoren
Rechnergestützte Methoden zur interaktiven Modellierung biotechnologischer Prozesse
Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren
Präparation amorpher und mikrokristalliner Silizium-Dünnschichten mit Hilfe der Wasserstoff-Abstraktionsmethode
Abscheidung harter, wasserstofffreier Kohlenstoffschichten durch Magnetron-Sputtern
Abscheidung nanostrukturierter Verschleißschutzschichten für Zerspanwerkzeuge mittels Kathodenzerstäubung
Struktur, Transport und obere kritische Felder von SENi2B2C-Dünnschichten (SE: Y, Ho)
Hydrogeochemische Modellierung als Instrument zur Wirkungsanalyse hydrogeochemischer Prozesse
Verhalten von Bioaerosolen bei der Abscheidung in Tiefenfiltern
Modellierung von Membrankontaktoren zur CO2-Abscheidung
Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten
Geometrische und elektronische Struktur organischer Adsorbate und Dünnschichten
Funktionale Dünnschichten und deren Anwendung in Hochtemperatur-Drucksensoren
Rechnergestützte Methoden zur interaktiven Modellierung biotechnologischer Prozesse
Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren
Präparation amorpher und mikrokristalliner Silizium-Dünnschichten mit Hilfe der Wasserstoff-Abstraktionsmethode
Abscheidung harter, wasserstofffreier Kohlenstoffschichten durch Magnetron-Sputtern
Abscheidung nanostrukturierter Verschleißschutzschichten für Zerspanwerkzeuge mittels Kathodenzerstäubung
Struktur, Transport und obere kritische Felder von SENi2B2C-Dünnschichten (SE: Y, Ho)
Hydrogeochemische Modellierung als Instrument zur Wirkungsanalyse hydrogeochemischer Prozesse
Verhalten von Bioaerosolen bei der Abscheidung in Tiefenfiltern
Modellierung von Membrankontaktoren zur CO2-Abscheidung
Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten
Geometrische und elektronische Struktur organischer Adsorbate und Dünnschichten
Funktionale Dünnschichten und deren Anwendung in Hochtemperatur-Drucksensoren
Rechnergestützte Methoden zur interaktiven Modellierung biotechnologischer Prozesse
Untersuchung der Ausfallmechanismen in ferroelektrischen PZT-Dünnschichten zur Verwendung in Speicherkondensatoren
Präparation amorpher und mikrokristalliner Silizium-Dünnschichten mit Hilfe der Wasserstoff-Abstraktionsmethode
Abscheidung harter, wasserstofffreier Kohlenstoffschichten durch Magnetron-Sputtern
Abscheidung nanostrukturierter Verschleißschutzschichten für Zerspanwerkzeuge mittels Kathodenzerstäubung
Struktur, Transport und obere kritische Felder von SENi2B2C-Dünnschichten (SE: Y, Ho)
Hydrogeochemische Modellierung als Instrument zur Wirkungsanalyse hydrogeochemischer Prozesse