Hochschulschrift
Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826563560
3826563565
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
IV, 146 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 1999
- Erschienen in
-
Forschungsberichte Neue Materialien ; Bd. 8
- Schlagwort
-
Borcarbonitride
Dünne Schicht
Abscheidung
Plasmatechnik
Glimmentladung
Borcarbonitride
Siliciumverbindungen
Dünne Schicht
Abscheidung
Plasmatechnik
Glimmentladung
Quarzglas
Dünne Schicht
Abscheidung
Plasmatechnik
Glimmentladung
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:00 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Hegemann, Dirk
- Shaker
Entstanden
- 1999
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