Hochschulschrift
Plasmagestützte Prozesse zur Abscheidung neuer Hartstoffschichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826563560
3826563565
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
IV, 146 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 1999
- Bibliographic citation
-
Forschungsberichte Neue Materialien ; Bd. 8
- Keyword
-
Borcarbonitride
Dünne Schicht
Abscheidung
Plasmatechnik
Glimmentladung
Borcarbonitride
Siliciumverbindungen
Dünne Schicht
Abscheidung
Plasmatechnik
Glimmentladung
Quarzglas
Dünne Schicht
Abscheidung
Plasmatechnik
Glimmentladung
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:00 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Hegemann, Dirk
- Shaker
Time of origin
- 1999
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