Monografie
Abscheidung titan-sauerstoff-stickstoff-haltiger Schichten im Plasma-CVD-Prozess durch Implementierung einer metall-organischen Vorstufe
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Saarbrücken, Univ., Diss., 2007
- Identifier
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985390689
- URN
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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26.01.2023, 13:55 MEZ
Objekttyp
- Monografie