Monografie
Amorphe diamantartige Kohlenstoffschichten für integrierte pH-Sensoren
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
-
Hannover, Univ., Diss., 2002
- Identifier
-
968691277
Thema
Diamantähnlicher Kohlenstoff ; ECR-Beschichten ; PECVD-Verfahren ; Elektronische Eigenschaft ; Ionensensitiver Feldeffekttransistor ; Wasserstoffionenkonzentration ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:58 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
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