Monografie
Plasmaunterstützte-Wirbelbett-CVD und spektroskopische Charakterisierung von kohlenstoffhaltigen Schichten auf pulverförmigen Substraten
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2004
- Identifier
-
972343954
- Thema
-
Glaspulver ; Beschichten ; PECVD-Verfahren ; Wirbelschichtverfahren ; Dünne Schicht ; Kohlenstoffwerkstoff ; Physikalisch-chemische Eigenschaft ; Raman-Spektroskopie ; CVD-Verfahren; Gasphase; Mikrowellenplasma; Pulver; Hochschulschrift; Online-Publikation
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:55 MEZ
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