Monografie
Amorphe diamantartige Kohlenstoffschichten für integrierte pH-Sensoren
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Hannover, Univ., Diss., 2002
- Identifier
-
968691277
Subject
Diamantähnlicher Kohlenstoff ; ECR-Beschichten ; PECVD-Verfahren ; Elektronische Eigenschaft ; Ionensensitiver Feldeffekttransistor ; Wasserstoffionenkonzentration ; Hochschulschrift
Contributor
- URN
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
26.01.2023, 1:58 PM CET
Object type
- Monografie
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