Hochschulschrift
Synthese neuartiger Single-Source-Precursoren für die Abscheidung piezoelektrischer Bleizirkonattitanat(PZT)-Schichten mittels chemischer Gasphasenabscheidung (CVD)
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Saarbrücken, Univ., Diss., 2010
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Dünne Schicht ; Ultraschallsensor ; Ferroelektrischer Sensor ; Akustischer Sensor ; Perowskit ; PZT ; Ausgangsmaterial ; CVD-Verfahren
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:291-scidok-31882
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:45 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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