Monografie

Simultan betriebene Hohlkathodenentladungen zur Deposition von wasserstoffhaltigen amorphen Kohlenstoffschichten in Sacklochgeometrien

Sprache
Deutsch
Identifier
1309057737

Thema
Dünne Schicht; Hohlkathodenentladung; PECVD-Verfahren; CVD-Verfahren

Beteiligte Personen und Organisationen
Gryga, Rafael
Ulrich, Sven
Dienwiebel, Martin

DOI
10.5445/IR/1000163582
URN
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
09.01.2024, 09:53 MEZ

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Objekttyp

  • Monografie

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