Monografie
Simultan betriebene Hohlkathodenentladungen zur Deposition von wasserstoffhaltigen amorphen Kohlenstoffschichten in Sacklochgeometrien
- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1309057737
Thema
Dünne Schicht; Hohlkathodenentladung; PECVD-Verfahren; CVD-Verfahren
Beteiligte Personen und Organisationen
- DOI
-
10.5445/IR/1000163582
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
09.01.2024, 09:53 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Gryga, Rafael
- Ulrich, Sven
- Dienwiebel, Martin
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