Monografie
Simultan betriebene Hohlkathodenentladungen zur Deposition von wasserstoffhaltigen amorphen Kohlenstoffschichten in Sacklochgeometrien
- Language
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Deutsch
- Identifier
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1309057737
- DOI
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10.5445/IR/1000163582
- URN
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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09.01.2024, 9:53 AM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Monografie
Associated
- Gryga, Rafael
- Ulrich, Sven
- Dienwiebel, Martin