Monografie
Simultan betriebene Hohlkathodenentladungen zur Deposition von wasserstoffhaltigen amorphen Kohlenstoffschichten in Sacklochgeometrien
- Language
-
Deutsch
- Identifier
-
1309057737
Subject
Dünne Schicht; Hohlkathodenentladung; PECVD-Verfahren; CVD-Verfahren
Contributor
- DOI
-
10.5445/IR/1000163582
- URN
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
09.01.2024, 9:53 AM CET
Data provider
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Object type
- Monografie
Associated
- Gryga, Rafael
- Ulrich, Sven
- Dienwiebel, Martin
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