Monografie
Atomic Layer Deposition und Charakterisierung von Yttrium dotiertem Hafniumoxid
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
IX, 124 S.
- Anmerkungen
-
Dresden, Techn. Univ., Diss., 2012
- Identifier
-
1033730300
Thema
Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:44 MESZ
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Objekttyp
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