Monografie

Atomic Layer Deposition and Microanalysis of Ultrathin Layers

Sprache
Englisch
Identifier
1214244459

Thema
Atomschichtepitaxie; Kohlenstoff-Nanoröhre; Diketonate ; Kupfer; Kupferoxide; Metallisierungsschicht; ULSI

Beteiligte Personen und Organisationen
Melzer, Marcel
Wächtler, Thomas
Schulz, Stefan E.
Hietschold, Michael

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:52 MEZ

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Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

  • Melzer, Marcel
  • Wächtler, Thomas
  • Schulz, Stefan E.
  • Hietschold, Michael

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