Microlithography, molecular imprinting
1. J.D. Marty, M. Mauzac: Molecular Imprinting: State of the Art and Perspectives.- 2. H. Ito: Chemical Amplification Resists for Microlithography
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783540218623
3540218629
- Maße
-
24 cm
- Umfang
-
VI, 276 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 223 - 245
- Erschienen in
-
Advances in polymer science ; Vol. 172
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Lithografie
Photoresist
Molekulares Prägen
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin, Heidelberg, New York
- (wer)
-
Springer
- (wann)
-
2005
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:01 MEZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Itō, Hiroshi
- Springer
Entstanden
- 2005
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