Archivale
V 2 - Themenbericht: "Si (Silizium)-Epitaxie für MET (Multi-Epitaxie-Technik)"
Enthält u. a.: Ergebnisse bezüglich der Parameterforderungen. - Tabellen.
- Archivaliensignatur
-
504 Mikroel Stdf 118
- Bestand
-
504 Mikroel Stdf (82315) Rep. 504 VEB Mikroelektronik "Karl Liebknecht" Stahnsdorf
- Kontext
-
Rep. 504 VEB Mikroelektronik "Karl Liebknecht" Stahnsdorf >> Verfahren >> Epitaxie
- Laufzeit
-
1983
- Weitere Objektseiten
- Letzte Aktualisierung
-
04.03.2025, 17:10 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Archivale
Entstanden
- 1983
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