Monografie

Koppelstrukturen für integrierte optische Schaltungen auf Silizium

Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Umfang
XIII, 186 S.
Anmerkungen
Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss.
ISBN
978-3-18-323609-1
Identifier
949013668

Reihe
Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik; Nr. 236

Thema
Siliciumdioxid ; Siliciumnitrid ; Mischkristall ; Lichtwellenleiter ; Integriert-optisches Bauelement ; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen
Zurhelle, Dieter

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
15.04.2024, 08:45 MESZ

Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

  • Zurhelle, Dieter

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