- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Extent
-
XIII, 186 S.
- Notes
-
Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Diss.
- ISBN
-
978-3-18-323609-1
- Identifier
-
949013668
- Series
-
Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik; Nr. 236
Subject
Siliciumdioxid ; Siliciumnitrid ; Mischkristall ; Lichtwellenleiter ; Integriert-optisches Bauelement ; Hochschulschrift
Contributor
Zurhelle, Dieter
- Table of contents
- Rights
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.04.2024, 8:45 AM CEST
Object type
- Monografie
Associated
- Zurhelle, Dieter
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