Hochschulschrift
Herstellung und Charakterisierung dünner Schichten aus Bornitrid
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 1997
- Keyword
-
Bornitrid
Dünne Schicht
Magnetronsputtern
Schichtwachstum
Optische Eigenschaft
Mechanische Eigenschaft
Schichtwachstum
Mikrostruktur
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Chemnitz
- (who)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz
- (when)
-
1997
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-199700407
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:42 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Hahn, Jens
- Universitätsbibliothek Chemnitz
Time of origin
- 1997
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