Monografie
Herstellung und elektronenmikroskopische Untersuchung von epitaktischen Silizium-Germanium-Schichten
- Ausgabe
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1. Aufl.
- Sprache
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Deutsch
- Umfang
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109 S.
- Anmerkungen
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Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1999
- ISBN
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978-3-89712-534-6
- Identifier
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957250258
- Thema
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Silicium ; Germanium ; Mehrschichtsystem ; Flüssigphasenepitaxie ; Hochschulschrift
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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16.08.2023, 18:25 MESZ
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Objekttyp
- Monografie