Hochschulschrift
Abscheidung von Yttriumoxid-, Lanthanoxid- und Seltenerdoxidfilmen im HF-Plasma
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
132 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst., Ill.
Tübingen, Univ., Diss., 1990 (Nur beschränkt f.d. Austausch)
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:52 MEZ
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Objekttyp
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