Kapazitiv gekoppelte Mehrfrequenzplasmen zur Abscheidung keramischer und ferromagnetischer Schichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Dissertation, 2014
- Keyword
-
Plasma
Frequenz
Ferromagnetische Schicht
Plasmaabscheidung
Hochfrequenzplasma
Stehende Welle
Plasma
Beschichtung
Zerstäubung
Ferromagnetische Schicht
Hochfrequenzplasma
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Bochum
- (who)
-
Ruhr-Universität Bochum
- (when)
-
2014
- Creator
- Contributor
-
Awakowicz, Peter
Mussenbrock, Thomas
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:294-40819
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:51 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Bienholz, Stefan
- Awakowicz, Peter
- Mussenbrock, Thomas
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- Ruhr-Universität Bochum
Time of origin
- 2014
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