Monografie
Kapazitiv gekoppelte Mehrfrequenzplasmen zur Abscheidung keramischer und ferromagnetischer Schichten
- Sprache
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Deutsch
- Identifier
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1201553865
Awakowicz, Peter
Mussenbrock, Thomas
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- URN
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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26.01.2023, 13:52 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Bienholz, Stefan
- Awakowicz, Peter
- Mussenbrock, Thomas
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik