Monografie
Kapazitiv gekoppelte Mehrfrequenzplasmen zur Abscheidung keramischer und ferromagnetischer Schichten
- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1201553865
Thema
Frequenz; Plasmaabscheidung; Stehende Welle; Plasma; Beschichtung; Zerstäubung; Ferromagnetische Schicht; Hochfrequenzplasma
Beteiligte Personen und Organisationen
Bienholz, Stefan
Awakowicz, Peter
Mussenbrock, Thomas
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Awakowicz, Peter
Mussenbrock, Thomas
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:52 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Bienholz, Stefan
- Awakowicz, Peter
- Mussenbrock, Thomas
- Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
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