Monografie

Kapazitiv gekoppelte Mehrfrequenzplasmen zur Abscheidung keramischer und ferromagnetischer Schichten

zu Verbundenen Objekten

Sprache
Deutsch
Identifier
1201553865

Thema
Frequenz; Plasmaabscheidung; Stehende Welle; Plasma; Beschichtung; Zerstäubung; Ferromagnetische Schicht; Hochfrequenzplasma

Beteiligte Personen und Organisationen
Bienholz, Stefan
Awakowicz, Peter
Mussenbrock, Thomas
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:52 MEZ

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Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

  • Bienholz, Stefan
  • Awakowicz, Peter
  • Mussenbrock, Thomas
  • Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik

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