Monografie
Entwicklung von großflächigen PECVD-Prozessen zur kontrollierten, homogenen Abscheidung dünner Siliziumschichten für die Photovoltaik
- Sprache
-
Deutsch
- ISBN
-
1866-1793
- Identifier
-
1193087686
- Reihe
-
Schriften des Forschungszentrums Jülich Reihe Energie & Umwelt / Energy & Environment; 462
- Thema
-
Gas; Solarzelle; Plasma; Abscheidung; Fotovoltaik; Elektrode
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:58 MEZ
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Objekttyp
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Beteiligte
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