Hochschulschrift
Poröses Silizium als Basistechnologie für mechanisch stabile thermisch entkoppelte Membranen
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
IV, 154 S.
- Maße
-
21 cm
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006
- ISBN
-
9783980746229
3980746224
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Schlagwort
-
Silicium
Nanoporöser Stoff
Entkopplung
Wärmeleitung
Membran
MEMS
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:38 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Feyh, Ando Lars
- AFO-Verl.
Entstanden
- 2006
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