- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1110616449
- Thema
-
Ionenstrahl; Sputtern; Dünne Schicht; Ion; Target; Winkelverteilung; Ätzen; Ionenquelle; Material; Hochschulschrift
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Becker, Martin
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:53 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Becker, Martin
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