Monografie
Ortsaufgelöste Bestimmung von Gitterverzerrungen in Silizium-Nanostrukturen mittels Elektronenrückstreubeugung
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Halle (Saale), Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt, Diss., 2013
- Identifier
-
1052221211
Thema
Silicium; Rückstreuung; Kristallgitter; Verzerrung; Raumauflösung; Nanostruktur; Ionenstrahl; Beugungsfigur; Verzerrungstensor; Oberfläche; Beugung; Elektronenbeugung; Amorphisierung; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:58 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Krause, Michael
- Wehrspohn, Ralf B.
- Hanke, Michael
- Leipner, Hartmut S.
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