- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1198223170
- Reihe
-
Wissenschaftliche Berichte. FZKA; 6114
- Thema
-
Elektrotechnik, Elektronik; Mikrostruktur; Photoresist; Hochschulschrift
- Beteiligte Personen und Organisationen
- DOI
-
10.5445/IR/31998
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:55 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Zanghellini, Jürgen
- El-Kholi, Aida
- Mohr, Jürgen
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