Monografie
Structural and optical properties of PECVD grown silicon nanocrystals embedded in SiOxNy matrix = Strukturelle und Optische Eigenschaften mittels PECVD hergestellter Silicium Nanokristalle
- Sprache
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Englisch
- Identifier
-
1114995673
Thema
PECVD-Verfahren; Nanokristall; Oxinitride; Online-Ressource; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- DOI
-
10.6094/UNIFR/9148
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:57 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
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