Monografie
Faseroptische Sensoren zur Prozeßüberwachung in der Mikrosystemtechnik
- Sprache
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Deutsch
- Umfang
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VIII, 134 S.
- Anmerkungen
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Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000
- ISBN
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978-3-8265-7712-3
- Identifier
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959511954
- Reihe
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Berichte aus der Produktionstechnik; Bd. 2000,19
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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16.08.2023, 18:29 MESZ
Objekttyp
- Monografie