Monografie

Faseroptische Sensoren zur Prozeßüberwachung in der Mikrosystemtechnik

Sprache
Deutsch
Umfang
VIII, 134 S.
Anmerkungen
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2000
ISBN
978-3-8265-7712-3
Identifier
959511954

Reihe
Berichte aus der Produktionstechnik; Bd. 2000,19

Thema
Mikrosystemtechnik ; Prozessüberwachung ; Multisensor ; Faseroptischer Sensor ; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen

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Letzte Aktualisierung
16.08.2023, 18:29 MESZ

Objekttyp

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