Monografie

Avoiding boron-oxygen related degradation in highly boron doped Cz silicon

Sprache
Englisch
Identifier
1158496648

Beteiligte Personen und Organisationen
Herguth, Axel
Schubert, Gunnar
Kaes, Martin
Hahn, Giso

URN
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:55 MEZ

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Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

  • Herguth, Axel
  • Schubert, Gunnar
  • Kaes, Martin
  • Hahn, Giso

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