Monografie
Avoiding boron-oxygen related degradation in highly boron doped Cz silicon
- Sprache
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Englisch
- Identifier
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1158496648
- Beteiligte Personen und Organisationen
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Herguth, Axel
Schubert, Gunnar
Kaes, Martin
Hahn, Giso
- URN
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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26.01.2023, 13:55 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Herguth, Axel
- Schubert, Gunnar
- Kaes, Martin
- Hahn, Giso