Thin films with high surface roughness: thickness and dielectric function analysis using spectroscopic ellipsometry
- Language
-
Englisch
- Identifier
-
1213811848
Subject
Ellipsometrie; Rauigkeit; Schichtdicke; Dielektrische Funktion
Contributor
Lehmann, Daniel
Seidel, Falko
Zahn, Dietrich R.T.
Seidel, Falko
Zahn, Dietrich R.T.
- URN
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
26.01.2023, 1:57 PM CET
Associated
- Lehmann, Daniel
- Seidel, Falko
- Zahn, Dietrich R.T.
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