Monografie
Entwicklung von passiven und aktiven, planaren SiO2 Wellenleitern auf Silicium mittels rapid thermal annealing
- Sprache
-
Deutsch
- Identifier
-
1050903315
- Thema
-
Wellenleiter ; Silicium ; Tempern
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:52 MEZ
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Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Mennig, Martin
- Gier, Andreas
- Berni, Anette
- Schmidt, Helmut
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