Monografie
Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Heidelberg, Univ., Diss., 2003
- Identifier
-
968811477
Subject
Carbonitride ; Titanhartstoff ; Borcarbonitride ; Titanverbindungen ; Hartstoff ; Quaternäres System ; PECVD-Verfahren ; Ionenplattieren ; IBAD Hartstoffschicht Ti-B-C-N; Hochschulschrift; Online-Publikation
Contributor
Haag, Steffen
- URN
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
26.01.2023, 1:54 PM CET
Data provider
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Object type
- Monografie
Associated
- Haag, Steffen
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