Monografie

Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung

Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Heidelberg, Univ., Diss., 2003
Identifier
968811477

Thema
Carbonitride ; Titanhartstoff ; Borcarbonitride ; Titanverbindungen ; Hartstoff ; Quaternäres System ; PECVD-Verfahren ; Ionenplattieren ; IBAD Hartstoffschicht Ti-B-C-N; Hochschulschrift; Online-Publikation

Beteiligte Personen und Organisationen
Haag, Steffen

URN
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:54 MEZ

Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

  • Haag, Steffen

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