Monografie
Ionenstrahlgestützte Abscheidung dünner Funktionsschichtsysteme im System Ti-B-C-N und deren Charakterisierung
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Heidelberg, Univ., Diss., 2003
- Identifier
-
968811477
Thema
Carbonitride ; Titanhartstoff ; Borcarbonitride ; Titanverbindungen ; Hartstoff ; Quaternäres System ; PECVD-Verfahren ; Ionenplattieren ; IBAD Hartstoffschicht Ti-B-C-N; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
Haag, Steffen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:54 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Haag, Steffen
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