Fotolithografie : Grundlagen der Mikrostrukturierung

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783981878202
3981878205
Maße
25 cm, 700 g
Umfang
205 Seiten
Ausgabe
1. Auflage
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Illustrationen

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Photoresist
Negativresist
Ätzen
Fotolithografie
Lack
Nassätzen
Trockenätzen

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ulm
(wer)
MicroChemicals GmbH
(wann)
2017
Urheber

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:33 MEZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2017

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