Hochschulschrift
PECVD Prozessüberwachung - wiederholbare Nutzung technischer Plasmen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783839609040
3839609046
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
v, 89, XLII Seiten
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Illustrationen, Diagramme
Karlsruher Institut für Technologie, Dissertation, 2015
- Erschienen in
-
Fraunhofer-IWM-Forschungsberichte / Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM ; Bd. 6
- Schlagwort
-
PECVD-Verfahren
Beschichtungsanlage
Prozessüberwachung
Plasmadiagnostik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Stuttgart
- (wer)
-
Fraunhofer Verlag
- (wann)
-
[2015]
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:23 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Grotjahn, Tobias
- Fraunhofer IRB-Verlag
- Fraunhofer IWM, Freiburg/Brsg.
- Fraunhofer Verlag
Entstanden
- [2015]
Ähnliche Objekte (12)
Soziale Netzwerke bewusst nutzen : ein Dossier zu Datenschutz, Privatsphärenschutz und Unternehmenssicherheit
Zehn Reisen ins Eis, [...]. Reise 6, Reise 7
Robotermanipulationsfähigkeiten zur Automatisierung von Instandshaltungsaufgaben
Simulation-based evaluation of operation and maintenance logistics concepts for offshore wind power plants
Modelling and experimental testing of an innovative sabatier reactor for a power-to-gas-plant
Zehn Reisen ins Eis, [...]. Reise 4, Reise 5
Ion implantation for high-efficiency silicon solar cells
Detektion, Isolation und Identifikation proviraler Substanzen des humanen Hämofiltrats zur Therapie von EBV-assoziierten Krebsarten
Carrier-selective contacts for high-efficiency Si solar cells
Entwicklung eines PVD-Metallisierungskonzeptes für industrielle rückseitenpassivierte und -kontaktierte Silicium-Solarzellen
Dynamics of cable-driven parallel robots with elastic and flexible, time-varying length cables
Zehn Reisen ins Eis, [...]. Reise 8, Reise 9
Soziale Netzwerke bewusst nutzen : ein Dossier zu Datenschutz, Privatsphärenschutz und Unternehmenssicherheit
Zehn Reisen ins Eis, [...]. Reise 6, Reise 7
Robotermanipulationsfähigkeiten zur Automatisierung von Instandshaltungsaufgaben
Simulation-based evaluation of operation and maintenance logistics concepts for offshore wind power plants
Modelling and experimental testing of an innovative sabatier reactor for a power-to-gas-plant
Zehn Reisen ins Eis, [...]. Reise 4, Reise 5
Ion implantation for high-efficiency silicon solar cells
Detektion, Isolation und Identifikation proviraler Substanzen des humanen Hämofiltrats zur Therapie von EBV-assoziierten Krebsarten
Carrier-selective contacts for high-efficiency Si solar cells
Entwicklung eines PVD-Metallisierungskonzeptes für industrielle rückseitenpassivierte und -kontaktierte Silicium-Solarzellen
Dynamics of cable-driven parallel robots with elastic and flexible, time-varying length cables
Zehn Reisen ins Eis, [...]. Reise 8, Reise 9
Soziale Netzwerke bewusst nutzen : ein Dossier zu Datenschutz, Privatsphärenschutz und Unternehmenssicherheit
Zehn Reisen ins Eis, [...]. Reise 6, Reise 7
Robotermanipulationsfähigkeiten zur Automatisierung von Instandshaltungsaufgaben
Simulation-based evaluation of operation and maintenance logistics concepts for offshore wind power plants
Modelling and experimental testing of an innovative sabatier reactor for a power-to-gas-plant
Zehn Reisen ins Eis, [...]. Reise 4, Reise 5
Ion implantation for high-efficiency silicon solar cells
Detektion, Isolation und Identifikation proviraler Substanzen des humanen Hämofiltrats zur Therapie von EBV-assoziierten Krebsarten
Carrier-selective contacts for high-efficiency Si solar cells
Entwicklung eines PVD-Metallisierungskonzeptes für industrielle rückseitenpassivierte und -kontaktierte Silicium-Solarzellen
Dynamics of cable-driven parallel robots with elastic and flexible, time-varying length cables