Monografie
Reaktionsmechanismen in der Elektronenstrahl-induzierten Abscheidung (FEBID)
- Sprache
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Deutsch
- Umfang
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VIII, 54 S.
- Anmerkungen
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Bremen, Univ., Diss., 2015
- Identifier
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1072510715
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
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15.04.2024, 08:52 MESZ
Objekttyp
- Monografie